Mittlere Plasmareinigungsmaschine wird haupts?chlich im LCD verwendet, Anschlüsse vor Massenproduktion Bereichen, wie Bindung. ????? Features: Alle Kernkomponenten und importiert werden, um die Stabilit?t und die Lebensdauer der Maschine zu gew?hrleisten. ????? Drehschieber-Vakuumpumpen importiert, ist auf andere Systeme mit Plasma-Technologie-Umgebung k?nnen lange Arbeitszeiten und in Anti-Oxidation, Korrosion, und viele haben sich reiche Erfahrung, erheblich verbessert die Lebensdauer der Pumpe, und Verbesserung der Schutzma?nahmen effektiv die Wartungskosten der Pumpe, Pumpe zu verringern, verbessert lange Arbeitszeiten zu begrenzen, Pumpen?l für hohe Temperaturen, hat Anti-Oxidations-?lpumpe eine hohe Temperatur und entlasten sich des Kühlsystems, ohne Wasserkühlung. Pumpenk?rper im Geh?use platziert ist die Maschine kompakt, geringer Platzbedarf. ????? Steuerung: automatische Steuerung nimmt PLC und Touch-Screen-Steuerung aller Prozessparameter, Prozessechtzeit-überwachung und Anzeige Betriebsstatus, Alarmaufzeichnung und Aufnahmetechnik Kurve, Arbeitszeitnachweise für Wartung, k?nnen Prozessinformationen liefern. ??????? ◎ k?nnen 50 Gruppen der Formel, zuf?llige Anrufe zu speichern. ????? ◎ Reinigungszeit, die saubere Druck, HF-Leistung, Prozessgasdurchsatz, setzen einstellbar. ????? ◎ Prozessparameter ist passwortgeschützt, Passwortverwaltung hierarchische Abfragen. ????? ◎ eine Schaltfl?che, um den Prozess vollst?ndig automatisiert, Echtzeit-Fehlermeldung, unzul?ssige Operation Tipps, Reinigungstipps und andere Ende abzuschlie?en. ????? ◎ automatisches Erinnerungssystem Wartung, Austausch der Vakuumpumpe ?l, um eine überlastung der Maschine, bei der Arbeit über Altern und das Leben verl?ngern. ????? ◎ Gasmassendurchflussmesser durch die US-Einfuhren aus der analogen Ein- und Ausg?nge verwendet werden, ist Bereich 0 ~ 200 sccm kann in einem Bereich eingestellt werden, je nach den spezifischen Prozessanforderungen des Massedurchflussmesser zur Verfügung PLC erzielt werden PID-Regler Steuerdruck. ????? ◎ nach den speziellen Anforderungen des Prozesses verwendet werden Trockenpumpen, Abgasbehandlungsanlagen, ?lfilter, ?lfilter zurück Ger?ten. Elektrodenstruktur (patentiert) h?here Ionenfluss kann auch zur Plasma Homogenit?t und Best?ndigkeit zu verbessern.